聚合物因其重量轻、柔韧性好、制备工艺简单，被广泛应用于光学器件、电子器件、能量收集/存储器件和传感器等领域。随着微纳米加工技术的发展和越来越高的应用要求，实现聚合物的高分辨率制备成为制备微型化器件的必要条件。这主要是因为传统的加工技术存在高的热应力和强的粘附/摩擦，会对微型化器件的微/纳米结构造成不可逆的破坏。此外，虽然利用先进的制备方法制备高分辨率的微/纳米结构的探索，这些方法仅限于实验室研究或小批量生产。本文综述了具有高空间精度和高复制精度的聚合物材料和器件的微纳米加工技术在工业应用中的应用。重点讨论了微纳米成型、高能光束加工和微纳米加工技术的发展现状和未来发展趋势。此外，还概述了各种聚合物基元件和器件(如微透镜、生物传感器和晶体管)的制造和应用。这些技术有望广泛应用于多尺度、多材料加工以及光电、智能、生物可降解等下一代的多功能集成器件。

文章访问链接：https://onlinelibrary.wiley.com/doi/epdf/10.1002/adma.202200903